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SCREEN二手清洗設(shè)備WS-820L
面議
佳鼎半導(dǎo)體
SCREEN二手清洗設(shè)備WS-820L
1271
SCREEN二手清洗設(shè)備WS-820L,針對(duì)8英寸晶圓的高通量批量清洗系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)靈活的生產(chǎn)線配
特點(diǎn):
1.傳輸類(lèi)型
選擇 WS-820L 用于 200 毫米晶圓并進(jìn)行無(wú)載體轉(zhuǎn)移處理。
2. 靈活的設(shè)計(jì)
系統(tǒng)可以根據(jù)應(yīng)用自由配置。處理槽配置*多可包含 13 個(gè)槽。
3. 高吞吐量
可以安裝多個(gè)浴槽,*多可以安裝六個(gè)傳送機(jī)器人,以確保高吞吐量。
4. 高品質(zhì)加工
優(yōu)化的加工槽設(shè)計(jì)、嚴(yán)格的化學(xué)品管理和清潔的干燥裝置有助于穩(wěn)定、高質(zhì)量的加工。
5. 豐富的周邊設(shè)備陣容
提供多種外圍設(shè)備,包括晶圓傳送單元和盒式儲(chǔ)料器。
6. 水印的預(yù)防
可安裝低壓干燥裝置以減少水印并確保干燥清潔
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