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CBr₄是很好的III-V材料的p型摻雜源。在使用MBE技術(shù)生長p型摻雜外延材料中具有很多用途。

SVT公司CBr₄模塊適用于任何MBE，具有安全、操作簡單等特點。CBr₄通過一個壓力控制系統(tǒng)被輸送到腔室。此壓力控制系統(tǒng)可以控制蒸汽壓流量。氣體控制面板可以精確控制CBr₄氣體的流量。

特點

●適用于任何MBE

●高性能的氣體入射源

●先進的氣體操作系統(tǒng)

●安全，操作簡單

部件

氣體入射源

●帶有加熱器的入射源（長度可客戶定制）

●溫度控制器（可放在電子控制柜中）

●雙接頭氣體管路

氣體操作系統(tǒng)

●外部手動可調(diào)閥門

●熱漏閥和控制器

●冷陰極真空規(guī)以及控制器

可選

●氣動閥門

●氣動閥門控制器

●氣路烘烤裝置