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經(jīng)濟型臺式磁控濺射系統(tǒng)

直接聯(lián)系

重慶眺望科技有限公司

重慶

產(chǎn)品規(guī)格型號

參考報價：

面議

品牌：

重慶眺望

型號：

經(jīng)濟型臺式磁控濺射系統(tǒng)

關(guān)注度：

517

產(chǎn)品介紹

主要特點

經(jīng)濟型臺式濺射系統(tǒng)

可集成5個1.5英寸共濺射靶

向上或向下濺射

沉積均勻性+1-2.5% @ 3"(75mm)基片

選配load-lock預(yù)真空室

基片加熱溫度850℃℃，旋轉(zhuǎn)速率0-40rpm，直流和射頻偏壓，50mmZ軸可調(diào)工作距離··真正的共焦沉積系統(tǒng)，滿足單層和多層薄膜沉積應(yīng)用

可集成4路MFC氣路，可進行反應(yīng)濺射

計算機控制或半自動控制

高真空或超高真空

產(chǎn)品咨詢

經(jīng)濟型臺式磁控濺射系統(tǒng)

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