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蜂窩墊

蜂窩墊

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東莞市中微力合半導體科技有限公司

廣東

產品規格型號
參考報價:

面議

品牌:

中微力合

型號:

蜂窩墊

關注度:

322

產品介紹

產品概述

主要優點在于孔深度比目前市面上的要深,故使用壽命長。孔間距跟孔大小比例優化**,配上我司自主研發的聚晶金剛石液磨削效率極高。

產品可以定制化,**一整張可以做到1300mm。產品不屬于危險品,無需特殊包裝,運輸途中勿彎折即可。

應用領域

本蜂窩墊主要用于半導體晶圓片,如:藍寶石、碳化硅晶圓及所有超硬脆材料的超精細研磨。

產品特點

  • 片材沖切,蜂窩網格槽結構均勻;

  • 背膠耐高溫,粘性強,換盤不易殘膠,表面平整;

  • 研磨精度高;

  • 肓孔深度深,使用壽命長;

  • 孔間距大小比例優化**,配上我司自主研發的聚晶金剛石液磨削效果**;

  • 可替代銅盤工藝,節能、環保、無污染。

產品規格及驗證參數

 材料去除率
金剛石液D50
碳化硅
晶圓
藍寶石
C向
氧化鋯
陶瓷
氧化鋁
陶瓷
氮化鋁
陶瓷
氧化硅
ZW-301(3μm)22.53.5433
ZW-302(2μm)1.51.6332.52.3
ZW-303(1.5μm)11.222.521.5
ZW-401(1μm)0.811.2


ZW-501(0.5μm)0.40.50.8


ZW-601(0.2μm)0.20.3



ZW-40




2.5
不同型號磨液對應不同加工材料去除率;單位:μm/min (數據來源:中微實驗室)


產品咨詢

蜂窩墊

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