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Park HIVAC真空原子力顯微鏡

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微納(香港)科技有限公司

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產(chǎn)品介紹

  • NX-Hivac型真空原子力顯微鏡簡介:

    NX-Hivac 型真空原子力顯微鏡是主要用為對氣氛與水敏感材料研究專門設(shè)計的一款高真空原子力顯微鏡。NX-Hivac同樣是一款全自動的原子力顯微鏡系統(tǒng),掃描分辨率達到了0.02nm,集成了PARK公司**技術(shù)“非接觸式工作模式”“智能掃描模式”“基于壓電陶瓷堆積技術(shù)的平板掃描器”,并標配快速掃描模式,變速掃描模式,加上可選功能模塊,使得NX-Hivac型原子力顯微鏡被廣泛用于物理,電學,力學,半導體等方向的研究。

  • NX-Hivac型真空原子力顯微技術(shù)特色:

    1)真空度高,達10-4Pa,抽真空速度快,5min內(nèi)達到10-5Torr以下

    2)在高真空條件下執(zhí)行掃描擴散電阻顯微鏡測量可減少所需的針尖-樣本相互作用力,從而大幅度降低對樣本和針尖的損傷。如此可延長各針尖的使用壽命,使掃描更加低成本和便捷,并通過提高空間分辨率和信噪比得到更為精確的結(jié)果。因此,利用NX-Hivac進行的高真空掃描擴散電阻顯微術(shù)測量可謂是故障分析工程師增加其吞吐量、減少成本和提高準確性的明智選擇。

    3)NX-Hivac 真空自動控制

    Hivac 管理器通過一鍵單擊在邏輯和視覺上控制**真空條件抽氣和排氣過程來實現(xiàn)高真空。各個過程通過顏色和圖示變化得到直觀監(jiān)控,一鍵單擊后您即可無需操心真空操作順序。更快速、更簡便的真空控制軟件使原子力顯微鏡的使用更便捷更高效。?

4)采用非接觸式工作模式

PARK公司是目前全球**一家真正實現(xiàn)非接觸測量模式的原子力顯微鏡廠家,在不影響測量精度的前提下,可實現(xiàn)樣品與針尖的非接觸測量,避免了由于針尖磨損帶來測量重復性差與探針磨損快的缺點。

下圖是測量CrN樣品的實例,CrN樣品的硬度很高,具有三角形結(jié)構(gòu),采用非接觸模式測量100幅圖后,圖像質(zhì)量幾乎無變化,針尖幾乎無磨損!!!

5)探測器噪聲水平為全球業(yè)界*低:0.02nm

Z軸探測器是全新的NX系列原子力顯微鏡的核心技術(shù)改進之一,它是Park**的新型應(yīng)變傳感器,憑借著0.2埃的超低噪聲,它一躍成為行業(yè)內(nèi)噪聲*低的Z軸探測器,檢測原子臺階及其容易。

6)采用全球**性能平板掃描器:采用**技術(shù)得三軸分離的平板掃描器,在整個80μm的掃描范圍內(nèi)誤差<1nm !!!!

7)操作極其簡單:

- 具有“智能掃描模式”Smart scan:這是PARK公司的**技術(shù)之一,用戶只需要選擇掃描速度及掃描范圍,系統(tǒng)即可自動調(diào)整反饋,無需尋找共振峰,無需調(diào)整反饋參數(shù)gain值

- 具有中文,英文等多種操作界面

- 憑借著我們先進的預準直懸臂架,懸臂在裝載時激光便已完成聚焦。并且,自上而下的同軸視角(行業(yè)****)讓您可以輕松地找到激光光點。由于激光垂直照射在懸臂上,您可以憑直覺旋動兩個定位旋鈕,將激光光點隨著X軸和Y軸移動。這樣,您可以在激光準直界面中,輕易地找到激光并將其定位在PSPD上。此時,您只需要稍作調(diào)整實現(xiàn)信號的**化,便可開始獲取數(shù)據(jù)。

  • NX-Hivac型真空原子力顯微技術(shù)特色:NX10型原子力顯微鏡主要技術(shù)參數(shù)

- XY方向閉環(huán)掃描范圍:100μm×100μm

- Z方向閉環(huán)掃描范圍:15μm

- 系統(tǒng)噪聲水平: ≤0.02nm

- 全自動樣品臺: 22mm×22mm

- 樣品臺放置單個**樣品尺寸100mm*100mm*20mm

- 真空系統(tǒng):配置兩級抽真空裝置,真空度:≤10-4Pa

- 抽真空速度:5 mins以內(nèi)達到5X10-5 Torr以下

- 真空倉體內(nèi)部尺寸:250 mm×320 mm×270 mm (WxDxH)

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Park HIVAC真空原子力顯微鏡

微納(香港)科技有限公司

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