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用超越激光衍射極限的系統來研究樣品NTEGRA Spectra 在檢測樣品時，通過掃描近場光學顯微術能提供超越激光光學衍射的光學分辨率。支持兩種不同的SNOM方式：光纖式SNOM和懸臂梁式SNOM所有的SNOM功能模式：透射模式，反射模式，收集模式。

所有SNOM的信號都可以被檢測：激光強度，熒光強度，光譜信號等。

SNOM刻蝕：矢量式，光柵式。