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儀器由主機和控制系統、專用工具、操作軟件及附件組成。主要用于化學、材料科學（納米材料、高分子、聚合物、半導體等）、生命科學以及相關領域的研究工作，對各種材料、化工產品、生物制品、非金屬礦及深加工產品等進行觀測，并對其表面形貌進行分析。

掃描隧道顯微鏡功能：恒流模式、恒高模式、I(Z)譜、I(V)譜

原子力顯微鏡功能：形貌成像、相位成像、磁力顯微鏡、靜電力顯微鏡、擴展電阻成像、開爾文探針顯微鏡、力－距離曲線、振幅－距離曲線、I(V)譜

刻蝕功能：力刻蝕、電流刻蝕、矢量刻蝕