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儀器簡介：

美國** 日本技術 90%市場占有率 是金屬/半導體材料研發和故障分析的有力工具?？臻g分辨率高，信息深度5納米以內

技術參數：

俄歇電子能譜儀

• He以上所有元素納米（約5nm）表面定性/表面定量/亞表層以及深度方向信息

1） 成分

2） 圖像

3） DETECT LIMIT 0.1%

4） *小束斑 6納米

5） 儀器型號PHI 700 清華，寶鋼2004，2005年購買

6） 報價 不含稅100萬美金

主要特點：

He以上所有元素納米（約5nm）表面定性/表面定量/亞表層以及深度方向信息