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鈣鈦礦大面積蒸發設備ZDF3200

鈣鈦礦大面積蒸發設備ZDF3200

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北京泰科諾科技有限公司

北京

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品牌:

北京泰科諾

型號:

鈣鈦礦大面積蒸發設備ZDF3200

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產品介紹

特點用途.jpg


1. 技術先進、設計優化,性價比高,性能穩定,使用維護成本低。

2.大面積,復合型,批量制備,潔凈真空不同功能復合涂層制備,可獲得更高電池轉換效率。

3.廣泛用于鈣鈦礦太陽能電池及復合功能薄膜材料制備等應用。

設備名稱:鈣鈦礦大面積蒸發設備

設備型號:ZDF3200(單片/多片)

鍍膜方式:線源蒸發

真空腔室結構:臥式方箱結構

真空腔室尺寸:L810mm×W700mm×H670mm(鍍膜室)

極限真空:優于5.0x10-?Pa

基片臺尺寸:330mm×420mm

基片溫度:80℃以下

膜厚不均勻性:≤±5.0%(330mmx420mm范圍內)

蒸發源:高低溫線性蒸發源

膜厚監控系統:國產或進口多探頭(可選)

控制方式:PLC + 觸摸屏控制

占地面積:L3200mm×W2000mm×H1800mm

總功率:≥40KW


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