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SiC晶圓清洗服務
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中科匯珠為客戶提供去金屬殘留的清洗服務
SBD器件用外延片均已處于規模供片階段，外延片厚度偏差<3.0%，外延片面內載流子濃度偏差<5.0%，詳細參數如下:
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