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檢測和分析碳化硅外延表面缺陷

檢測和分析 Si℃ 外延中的表面缺陷和晶體缺陷

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東莞市中科匯珠半導體有限公司

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面議

品牌：

中科匯珠

型號：

檢測和分析 Si℃ 外延中的表面缺陷和晶體缺陷

關注度：

149

產品介紹

技術參數:

1)微分干涉鏡頭:532 nm波段光源

2)暗場鏡頭:457nm波段光源

3)PL鏡頭:313波段光源

4)PLX鏡頭:355波段光源

5)自動聚焦測量范圍:+1.5mm

6)XYZ平臺:移動范圍550*400*5(XYZ)，重復定位精度0.1um，測量精度:±0.5um

7)重復性:CV<5%

8)致命缺陷測試準確性:>95%


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