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P21H-系列流量控制器

P21H-系列質(zhì)量流量控制器

直接聯(lián)系

遼寧冠華半導(dǎo)體有限公司

遼寧

產(chǎn)品規(guī)格型號

參考報價：

面議

品牌：

遼寧冠華

型號：

P21H-系列質(zhì)量流量控制器

關(guān)注度：

225

產(chǎn)品介紹

P21H-系列(質(zhì)量流量控制器/質(zhì)量流量計)是專為需要高純度全金屬流道的半導(dǎo)體制程和其他高精尖氣體流量控制應(yīng)用而設(shè)計的，開放式流道設(shè)計以及基于內(nèi)部精確容積的在線自校準(zhǔn)能力，為氣體質(zhì)量流量的控制、測量提供了極高的準(zhǔn)確度及可靠性。超高精度，可達(dá)±0.05% F.S. 超快速響應(yīng)<200ms 重復(fù)性對標(biāo)行業(yè)**產(chǎn)品，可達(dá) 0.02%F.S. 接液材料采用316L VimVar+KM45+PCTFE，耐腐蝕性好可定制多種工作壓力、通訊模式、屏幕顯示、機械接口，適用于高精尖端工藝制程

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P21H-系列流量控制器

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