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全自動晶圓ID打標(biāo)設(shè)備

直接聯(lián)系

廣東大族半導(dǎo)體裝備科技有限公司

廣東

產(chǎn)品規(guī)格型號

參考報價：

面議

品牌：

大族半導(dǎo)體

型號：

全自動晶圓ID打標(biāo)設(shè)備

關(guān)注度：

426

產(chǎn)品介紹

主要特點(diǎn)：

設(shè)備特點(diǎn)：

采用高精度二維直線電機(jī)平臺，DD馬達(dá)晶圓雙臂搬運(yùn)機(jī)器人，全自動視覺定位，設(shè)備配置標(biāo)刻內(nèi)容校驗(yàn)功能

主要參數(shù):

主要參數(shù)	加工尺寸	2-6寸、4-8寸、8-12寸晶圓片
	加工速度	UPH≥60pcs
	加工精度	±10μm
	平臺參數(shù)	行程400mm*250mm，重復(fù)定位精度±0.002mm， DD馬達(dá)重復(fù)定位精度±2arcsec
	激光器參數(shù)	紫外納秒，平均功率3W
	Tact time	＜60s
	稼動率	/
	重大故障間隙時間	/
	良率	99.9%

加工效果：

全自動晶圓ID打標(biāo)設(shè)備

設(shè)備型號：DSI-G-WMN6021-A

應(yīng)用范圍：適用于2-6寸、4-8寸、8-12寸Si、SiC、InP、GaSb、GaN、Sapphire、Glass、LT等材料的晶圓裸片標(biāo)記二維碼，一維碼或字符等

產(chǎn)品咨詢

全自動晶圓ID打標(biāo)設(shè)備

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