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加熱臺

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邁可諾技術有限公司

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1033

產品介紹

HT20e加熱臺UNIXX系列

可處理基片200 mm / 8英寸

半自動單面烘烤系統(tǒng)

設計用于:軟(預烤)

HMDS(六甲基二硅氮烷)的選配:蒸氣起泡,真空干燥

HT20e加熱臺設計用于基材的單面烘烤,用于預烘烤和后烘烤或脫水烘烤過程。尤其適用于粘合劑底漆(HMDS;六甲基二硅氮烷,可用于蒸汽底漆或真空干燥的熱板模塊。帶有電子可編程升降的烘烤模塊配有觸摸屏,便于操作。軟件提供了簡單方便的過程控制和配方創(chuàng)建。界面簡單易于使用,可隨時控制流程。這些溫度模塊有臺式安裝式,塔式安裝式或獨立式供選擇。

特點:

溫度模塊(動)

加熱板系統(tǒng)帶有動升降頂針

加熱板模塊(**300°C

電子驅動的升降

標準的頂針由不銹鋼和PEEK尖端制成(**250°C

升降,可編程(根據(jù)不同停止的速度和步長)

加熱板表面上的真空管路用于固定基板

手動控制加熱板的頂

集成式排

半自動控制器單元:

7英寸彩色觸摸屏

配方編輯器來編寫,管理和配置

實際可視化效果監(jiān)控

用于配方,流程,日志文件的庫功能(例如,錯誤跟蹤歷史記錄)

具有密碼保護服務訪問權限的用戶管理

通過USBIntranet連接進行更新和備份功能

產品參數(shù):

基板尺寸:**直徑200毫米(直徑8英寸圓片200x 200毫米(8 x8英寸方片;

溫度范圍:**300°C *,以1°C/可調

溫度精度:在100°C<1°C

升降針(1套)直徑50 mm直徑2英寸)到直徑200 mm直徑8英寸)或200x 200mm8 x8英寸

加熱臺表面:由硬質陽極氧化鋁制成

加熱臺蓋:由微拋光不銹鋼制成

加熱臺殼:由PP制成

控制器單元:7寸觸摸屏

電壓:230110VAC / 1Ph / N / PE / 5060)赫茲

CDA8 bar,管外徑6 mm

真空:-0.8 bar / -600bar,管外徑6 mm

排氣爐:1 x 外徑 40毫米,80方米/小時

氮氣(可選):42bar,管外徑6 mm

HT20p加熱臺UNIXX系列

可處理基片200 mm / 8英寸

手動控制單面烘烤系統(tǒng)

單面烘烤系統(tǒng)

可選,還提供溫度高達600°C的加熱板

溫度模塊設計用于單面烘烤用于烘烤前和烘烤后的基材。帶有氣動升降銷的烘焙模塊配有一個手動PID控制器和計時器開關。 經過微處理(PID)控制器用于高測量溫度控制準確性。 確定過程的設定值和參數(shù)用5場塑料薄膜鍵盤調節(jié)。可自由編程的定時開關有兩個可調派生計時器和兩個省略計時器。 與各種參數(shù)的可能性,兩個輸出觸點和兩個切換輸入將允許使用任何一種應用程序可以使用的。 計時器可以使用前按鈕和開關輸入。

特點:

溫度模塊(氣動)

加熱板系統(tǒng)帶有氣動升降頂針

加熱板模塊(**300°C

氣動頂針

標準的頂針由不銹鋼和PEEK尖端制成(**250°C

加熱板表面上的真空管道用于固定基板

手動控制加熱板的頂

集成式排

手動控制器單元:

1PID 控制器,用于在高測量時進行溫度控制。通過調節(jié)薄膜鍵盤5個鍵來設定關鍵參數(shù)。

1計時器開關,帶有兩個可調微分計時器和兩個延時計時器,并可以設置各種參數(shù)。

可以使用前按鈕和開關輸入來啟動和停止計時器。

產品參數(shù):

基板尺寸:**直徑200毫米(直徑8英寸圓片200x 200毫米(8 x8英寸方片;

溫度范圍:**300°C *,以1°C/可調

溫度精度:在100°C<1°C

升降針(1套)直徑50 mm直徑2英寸)到直徑200 mm直徑8英寸)或200x 200mm8 x8英寸

加熱臺表面:由硬質陽極氧化鋁制成

加熱臺蓋:由微拋光不銹鋼制成

加熱臺殼:由PP制成

控制器單元:1PID控制器,1個計時器;

電壓:230110VAC / 1Ph / N / PE / 5060)赫茲

CDA8 bar,管外徑6 mm

真空:-0.8 bar / -600bar,管外徑6 mm

排氣爐:1 x 外徑 40毫米,80方米/小時

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