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無掩膜顯微型LED曝光機(jī)

直接聯(lián)系

北京歐屹科技有限公司

日本

產(chǎn)品規(guī)格型號(hào)
參考報(bào)價(jià):

面議

關(guān)注度:

2408

產(chǎn)品介紹

主要簡(jiǎn)介:

UTA系列是將DLP投影儀盒金相顯微鏡相結(jié)合的縮小投影型無掩模曝光系統(tǒng),其價(jià)格低于傳統(tǒng)系統(tǒng)(用于掩膜光刻的圖案投影曝光系統(tǒng)) 可以使用專門為此目的開發(fā)的軟件來創(chuàng)建想要的圖案。

主要特點(diǎn):

l顯微鏡LED曝光裝置概述

l顯微鏡LED曝光單元UTA系列是不需要掩模的用于光刻的圖案投影曝光裝置。

l使用金相顯微鏡盒LED光源DLP投影儀,將具有機(jī)微米分辨率的任意圖案投影到涂有抗蝕劑的基板上進(jìn)行曝光。

l圖案可以在PC上自由創(chuàng)建。

l因?yàn)榭梢栽谄胀ǖ氖覂?nèi)環(huán)境中在各種大小盒形狀的單晶薄片上形成電極,所以它比電子束光刻便宜且簡(jiǎn)單,不需要制造昂貴的電極圖案掩膜。

主要應(yīng)用:

l薄膜FET和霍爾效應(yīng)測(cè)量樣品的電極形成

l從石墨烯/鉬原石中剝離電極形成并評(píng)估其特性

l研發(fā)應(yīng)用的圖案形成。

技術(shù)參數(shù):

  • 由于顯微鏡和DLP的結(jié)合,可以用很低的成本來構(gòu)建系統(tǒng)

  • 易于使用的軟件可以輕松的創(chuàng)建曝光圖案

  • 通過物鏡放大倍率圖案,可以進(jìn)行大范圍的批量曝光

  • 可以連接到您自己的顯微鏡上(選項(xiàng))

  • 分辨率在微米級(jí)

  • 曝光范圍:2.5mm×1.5mm *小100um×60um

  • 可以連接到您自己的顯微鏡上(選項(xiàng))

  • 分辨率在微米級(jí)

  • 曝光范圍:2.5mm×1.5mm *小100um×60um

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無掩膜顯微型LED曝光機(jī)

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