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6吋電阻法碳化硅晶體生長設備 UK-T6

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蘇州優晶半導體科技股份有限公司

江蘇

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蘇州優晶

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6吋電阻法碳化硅晶體生長設備 UK-T6

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725

產品介紹

電阻法碳化硅晶體生長設備UK-T6

1、**解決了感應爐徑向溫度梯度大的技術難點,可實現徑向溫度梯度小和軸向溫度梯度可控,晶體內部缺陷少, 良率高、重復性好;


2、與傳統工藝長達7-14天的晶體生長周期相比,UKING ERH SiC RV4.0設備晶體生長速度更快,整個過程可控制在7天之內;


3、 自動化程度高,操控簡單,有利于批量生產,提高晶體生長效率和穩定性。



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6吋電阻法碳化硅晶體生長設備 UK-T6

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