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低壓化學氣相沉積系統(LPCVD)

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上海載德半導體技術有限公司

韓國

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1234

產品介紹

擴散爐、低壓化學氣相沉積設備(LPCVD)

產地:韓國;

有單管和雙管兩個不同的型號,用于科研或者小規模生產。

性能和特點:

- 溫度范圍:500 ~ 1000攝氏度;

- 氣體混合能力(帶有質量流量計);

- 真空范圍:~ 10-6 Torr;

典型應用:

- 無應力氮化硅;

- LPCVD;

- 退火;

- 氧化;

- 其他...

產品咨詢

低壓化學氣相沉積系統(LPCVD)

上海載德半導體技術有限公司

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