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長*寬*高

(輻射模塊)              

490mm*390mm*128mm

490mm*390mm*128mm

腔體體積

106L

106L

輸出功率

1.0kW

1.25kW

輸出頻率

2450MHz±25MHz

2450MHz±25MHz

頻率誤差

±50ppm

±50ppm

微波泄露

≤2mW/cm2

≤2mW/cm2

供電電壓

AC380V±10%

AC380V±10%

供電頻率

50Hz±2Hz

50Hz±2Hz

進(jìn)/出水口

1/8寶塔接頭

DN15

冷卻方式

電源: 水冷（1/8寶塔接頭，水流量≥2.5L/min，進(jìn)水溫度小于環(huán)境溫度時(shí)，兩者溫度差≤10°C）

輻射模塊: 可選水冷/風(fēng)冷

電源: 水冷（1/8寶塔接頭，水流量≥2.5L/min，進(jìn)水溫度小于環(huán)境溫度時(shí)，兩者溫度差≤10°C）

輻射模塊: 可選水冷/風(fēng)冷

控制接口

RS485通信協(xié)議

具備本地觸摸屏控制及遠(yuǎn)程通訊功能，MODBUS RTU 標(biāo)準(zhǔn)通訊協(xié)議，9600,N,8,1

工藝氣體

Ar、O2、H2、CF4等

Ar、O2、H2、CF4等

長*寬*高

(輻射模塊)             

490mm*390mm*128mm

490mm*390mm*128mm

腔體體積

106L

106L

輸出功率

3kW

3kW

輸出頻率

2450MHz±25MHz

2450MHz±25MHz

頻率誤差

±50ppm

±50ppm

微波泄露

≤2mW/cm2

≤2mW/cm2

供電電壓

AC380V±10%

AC380V±10%

供電頻率

50Hz±2Hz

50Hz±2Hz

進(jìn)/出水口

1/8寶塔接頭

DN15

冷卻方式

電源: 水冷（1/8寶塔接頭，水流量≥2.5L/min，進(jìn)水溫度小于環(huán)境溫度時(shí)，兩者溫度差≤10°C）

輻射模塊: 水冷

電源: 水冷（1/8寶塔接頭，水流量≥2.5L/min，進(jìn)水溫度小于環(huán)境溫度時(shí)，兩者溫度差≤10°C）

輻射模塊: 水冷

控制接口

RS485通信協(xié)議

具備本地觸摸屏控制及遠(yuǎn)程通訊功能，MODBUS RTU 標(biāo)準(zhǔn)通訊協(xié)議，9600,N,8,1

工藝氣體

Ar、O2、H2、CF4等

Ar、O2、H2、CF4等