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化學機械拋光機 TMP-150A

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北京特思迪

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化學機械拋光機 TMP-150A

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TMP-150ATMP-200A

晶圓尺寸4/6英寸

拋光盤規格OD406 mm

晶圓氣囊壓力70-500 g/cm2

保持環壓力70-700 g/cm2

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