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半自動(dòng)晶圓刷洗機(jī) TSC-100
直接聯(lián)系
北京特思迪半導(dǎo)體設(shè)備有限公司
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北京特思迪
半自動(dòng)晶圓刷洗機(jī) TSC-100
1016
半自動(dòng)晶圓刷洗機(jī)
TSC-100/300S
該系列設(shè)備是晶圓CMP后的專用清洗設(shè)備，單工位單腔設(shè)計(jì)。該系列設(shè)備可集成PVA刷洗、兆聲清洗、N2吹干、高速甩干等功能，集成度高，適用于各類半導(dǎo)體晶圓的CMP后清洗。
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半自動(dòng)晶圓刷洗機(jī) TSC-100
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