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陶瓷盤(pán)清洗機(jī)

直接聯(lián)系

蘇州辰軒光電科技有限公司

江蘇

產(chǎn)品規(guī)格型號(hào)

參考報(bào)價(jià)：

面議

品牌：

蘇州辰軒

型號(hào)：

陶瓷盤(pán)清洗機(jī)

關(guān)注度：

748

產(chǎn)品介紹

| 應(yīng)用領(lǐng)域
應(yīng)用于碳化硅（SiC）、硅（Si）、氮化鎵（GaN）等半導(dǎo)體材料的刷洗，同時(shí)可用于藍(lán)寶石、陶瓷、水晶等材料。

| 設(shè)備特點(diǎn)
? 陶瓷盤(pán)豎直清洗，可減少設(shè)備的占地面積。
? 采用超聲波清洗，可較大限度避免損傷陶瓷盤(pán)面。
? 自動(dòng)上/下料系統(tǒng)及12片容量的陶瓷盤(pán)推車(chē)，可提高效率減少人工。
? 搬移機(jī)械手單獨(dú)上下移動(dòng)，可增強(qiáng)陶瓷盤(pán)清洗效果。

| 設(shè)備參數(shù)

設(shè)備型號(hào)	CX-BE05
適應(yīng)產(chǎn)品	陶瓷盤(pán) Φ360mm
	陶瓷盤(pán) Φ485mm
洗槽數(shù)量	3槽
超聲波洗槽數(shù)量	2槽
藥液洗槽數(shù)量	1槽
洗槽循環(huán)流量	20L/min
洗槽材質(zhì)	SUS316
連續(xù)作業(yè)時(shí)間	約3～4分鐘/盤(pán)（具體視工藝而定）
設(shè)備尺寸	W4965mm * L2100mm * H2605mm
設(shè)備重量	約3000kg
瓷盤(pán)車(chē)容量	12片
自動(dòng)上下瓷盤(pán)	是
水槍	1個(gè)
搬移機(jī)械手上下	伺服電機(jī)+滾珠絲杠+滾動(dòng)導(dǎo)軌
搬移機(jī)械手左右	伺服電機(jī)+齒輪齒條+滾動(dòng)導(dǎo)軌
進(jìn)盤(pán)翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)	氣缸
出盤(pán)翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)	減速電機(jī)
設(shè)備使用條件	電源	AC380, 50Hz,三相四線(xiàn)制
	總?cè)萘?/span>	70kw
	氣源接口	3/4
	進(jìn)水接口	3/4
	排水接口	1 +1/2
	排氣	正壓排氣5″

產(chǎn)品咨詢(xún)

陶瓷盤(pán)清洗機(jī)

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