德國海德堡Heidelberg激光直寫光刻機μPG 101

適合用于科研領域

臺式激光直寫機

操作簡單，可支持灰度光刻

μPG101是一款經濟實惠且易于操作的圖形發生器，適用于直寫和少批量的掩模板制作。該系統可用于MEMS、Bio MEMS、Integrated Optics、Micro Fluidics或任何其他需要高精度、高分辨率微結構的制作。

μPG101的面積僅為60x75cm2，設計精巧，將所有電子組件集成在系統中，由系統控制主機運作。基于Windows®的控制接口，使用戶可以輕松進行數據轉文件，經過手動或自動對準之后，即可開始曝光。

μPG101主要提供簡單快速的方式來創建微結構。系統可透讀寫模塊的更換，以滿足不用的分辨率和寫入速度的要求。它是市面上**達到亞微米結構的桌上型光刻系統，即使是偏小網格，依然具有非常高精度的結構。實時自動對焦系統可在曝光期間實時監控和校正聚焦位置，從而確保整個曝光區域的高分辨率和可重復性。精密網格和實時自動對焦裝置是專業微圖型發生器的標準要求。

μPG101的應用包括 Life Science 、MEMS 、 Semiconductor 、Sensors、Actuators、MOEMS、Material Research、Nano-Tubes、Graphene以及任何其他需要微結構的應用。