91?清视频在线免费?看_99re6这里只有精品视频6_www.成人动漫_青青青青娱乐_小婕子伦流澡到高潮视频_亚洲综合AV永久无码精品一区二区

型 號

沉積寬度

容量

法蘭尺寸

SVTA-LES-300

300mm

500cc

6’’(DN100)CF法蘭，其他尺寸可選

SVTA-LES-600

600mm

1，000cc， 2，000cc， 或5，000cc

10’’(DN200)CF法蘭，其他尺寸可選

SVTA-LES-1200

1，200mm

2，000cc， 或5，000cc

10’’(DN200)CF法蘭，其他尺寸可選

**體蒸發溫度

1，500^oC

分流口**溫度

1，600^oC

源溫度穩定性

+/- 0.1 ^oC

束流穩定性

<1%

**操作環境壓強

5X10^-5Torr

沉積均一性

+/-4%(源與襯底距離300mm)

熱偶類型

C型

(K型可選)

冷卻時間

100^oC<120分鐘

電接插件

燈絲：Amphenol環形燈絲

T/C:Omega亞微型

烘烤溫度

200^oC

冷卻水接頭

2 X ¹/₄’’ VCR (一進一出)

**水壓

80psi

水流速率

500ml/min