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需要在負膠的SU-8實現正膠輪廓？？

新產品光刻膠輪廓修改劑帶來了新的契機。

輪廓修改劑直接旋涂在Pre-baked的SU-8光刻膠頂部，降低了光刻膠膜頂部的光靈敏度，取得了正型的側壁。

影響SU-8輪廓效果的原因

1）光刻膠類型及厚度

2）XP TQC膠的厚度

3）曝光量

4）顯影后的去膜量

5）曝光類型（靠近或軟接觸）

正錐形輪廓：

1）在Micro-Molding應用中，實現模具去除步驟

2）需要在結構的頂部和側壁上的后續金屬沉積步驟