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量產型薄膜封裝專用ALD系統

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南京伯奢詠懷電子科技有限公司

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產品介紹

量產型 薄膜封裝用 原子層沉積系統(R2R ALD)主要應用于有機半導體((Micro)OLED,QD,OPV,鈣鈦礦光伏....)在線批量生產的薄膜封裝(TFE).可對平板Panel或柔性(Flexible)基底進行卷對卷(R2R)封裝.

在OLED Panel廠產線有廣泛應用!

主要應用

-硅基WVTR(水蒸氣透過率)的阻擋層

-Micro-OLED封裝層

-柔性襯底用阻擋層

-OLED封裝層

-柔性OLED顯示器、柔性OLED照明、量子點、柔性太陽能電池等高水分阻隔膜的卷對卷(R2R)ALD工藝

特點

1.ALD高k介質,厚度均勻性好,保形步進覆蓋。

2.先進的工藝套件和小體積的短周期室

3.實現了ALD機構(行波法)

4.小腳印全集成工藝模塊

5.過程控制方便,供氣線路長度小。

應用尺寸:370*470mm,730*920mm,1500*1850mm....

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