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拋物面環形天線微波等離子體沉積系統

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杭州晶馳機電科技有限公司

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杭州晶馳

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拋物面環形天線微波等離子體沉積系統

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該設備為微波等離子化學氣相沉積系統（MWCVD）。采用2.45GHz頻率微波源，激發穩定的等離子體。電場激發模式為TM021模式，該系統可以穩定生長金剛石單晶材料、多晶晶圓。

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