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12寸邊緣刻蝕機(jī)

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南軒（天津）科技有限公司

天津

產(chǎn)品規(guī)格型號(hào)

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品牌：

天津南軒

型號(hào)：

12寸邊緣刻蝕機(jī)

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產(chǎn)品介紹

12寸邊緣刻蝕機(jī)

1）：適用于6-12”硅片的去邊處理；

2）：去邊規(guī)格0.4-1.5mm,去邊精度±0.1mm，特殊規(guī)格支持定制；

3）：設(shè)備包含F(xiàn)OUP LoadPort,Pre-Aligner,WTR機(jī)械手,機(jī)械模組，Buffer位，刻蝕槽，水洗槽，甩干位，儲(chǔ)酸槽；

4）： FOUP LoadPort各部分均可以獨(dú)立操作；

5）：具有兩套硅片上料線，上料WTR將硅片搬運(yùn)至Pre-Aligner中定心并尋參；

6）：用真空吸盤吸附的方式進(jìn)行硅片的搬運(yùn)；

7）：下料WTR取走放入到下載FOUP指定Slot中；

8）：采用國(guó)際知名的電氣元件。

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12寸邊緣刻蝕機(jī)

南軒（天津）科技有限公司

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