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型 號

* 佳 溫 度 范 圍

尺 寸

SVTA-DF-雙燈絲熱源

600 ^oC-1，600 ^oC

85cc，150cc，500cc， 1，000cc

SVTA-LTDF-低溫雙燈絲熱源

400 ^oC-1，000 ^oC

85cc，150cc，500cc， 1，000cc

SVTA-VViking熱源（Ga、In）

800 ^oC-1，400 ^oC

60cc，80cc，150cc，500cc

SVTA-EXCEL-Excel熱源（有機材料）

100 ^oC-600 ^oC

85cc，150cc，500cc， 1，000cc

源溫度穩定性

+/- 0.1 ^oC

溫度重復性

+/- 0.1 ^oC

接口法蘭

60cc，80cc，85cc：4.5’’(DN63) CF 法蘭

150cc，500cc：6.0’’(DN100) CF 法蘭

1，000cc：8.0’’(DN150) CF 法蘭

真空室內長度

12’’(10’’-14’’可客戶定制)

真空室內直徑

60cc: 2.135’’ (54mm)

80cc: 2.100’’ (53mm)85cc: 2.290’’ (58mm)

150cc: 2.630’’ (67mm)

500cc: 3.540’’ (90mm)

1，000cc: 5.500’’ (140mm)

熱偶類型

<1，000 ^oC**：K型

>1，000 ^oC**：C型

電接插件

燈絲：Amphenol環形燈絲

T/C:Omega亞微型

烘烤溫度

200^oC