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FSM128非接觸薄膜應力測試

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美國FSM應力儀

-----應力測試專家,為行業**應力儀!

Semi-Auto(半自動) Fully-Auto(全自動)

* 自動切換的雙光路波長:650納米和780納米

* 測量方式:直徑方向的掃描,可提供形貌圖

* 掃描范圍:對于200mm的硅晶圓為194mm

* 3-D形貌圖:測量臺有旋轉功能,可通過控制軟件中的參數輸入來旋轉測量臺,以完成形貌圖的測量(至少需要測量6個方向的掃描)

* 測量的硅晶圓尺寸: 200mm

* 應力測量的范圍:1X107 dynes/cm2 4X1010 dynes/cm2(對于典型的硅晶圓)

* 測量數據輸出:測量數據表格為客戶提供的參數包括,料盒的編號、晶圓的編號、測量次數的編號、應力數值、晶圓曲率半徑的數值、晶圓基片的厚度和鍍膜的厚度,以及測量時間。測量數據可選擇輸出為Excel格式,文本文檔格式,同時可以輸出樣品形貌圖

* 客戶包括Intel,Samsung,LG IBM等。

有任何需要賽倫科技(上海,北京都有辦事處)

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