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W-380A-10K 微波等離子化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)

直接聯(lián)系

上海鉑世光半導(dǎo)體科技有限公司

上海

產(chǎn)品規(guī)格型號(hào)

參考報(bào)價(jià)：

面議

品牌：

鉑世光

型號(hào)：

W-380A-10K 微波等離子化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)

關(guān)注度：

672

產(chǎn)品介紹

系統(tǒng)特點(diǎn)：

·采用方位換向?qū)ΨQ方式微波耦合，來(lái)提高微波的均勻性

·穩(wěn)定沉積面積44cm²/80cm²

·**功率達(dá)到8KW/10KW

·使用純凈的石英窗

·采用特殊鋁合金反應(yīng)腔，能耐高溫（碟形）

·高壓力控制，產(chǎn)生高密度多模式等離子體（碟形）

·使用高精度氣體質(zhì)量流量計(jì)，高可靠性穩(wěn)定的壓力控制系統(tǒng)

·穩(wěn)定的微波輸入

設(shè)備的優(yōu)勢(shì)：

·反應(yīng)可控，能長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定工作在8KW/10KW

·所有電子設(shè)備中采用微波，沒(méi)有電極放電，沒(méi)有金屬污染

·參照C/H/O比例表，對(duì)反應(yīng)物有更大的選擇余地

·采用高效散熱的樣品臺(tái)，**散熱能力可達(dá)20KW以上

·高效率微波利用率，氫等離子體直接作用于樣品臺(tái)加熱時(shí)效率可達(dá)75%以上

·高可靠性，高實(shí)驗(yàn)重復(fù)性，高設(shè)備耐久性

·簡(jiǎn)捷的人機(jī)交互界面

應(yīng)用：

·寶石

·復(fù)合熱沉片

·精密加工刀具刀頭

·紅外光學(xué)窗口

·半導(dǎo)體wafer

·生物電極

產(chǎn)品咨詢

W-380A-10K 微波等離子化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)

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