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W-150A/B-6K 微波等離子化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)
直接聯(lián)系
上海鉑世光半導(dǎo)體科技有限公司
上海
面議
鉑世光
W-150A/B-6K 微波等離子化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)
680
| 系統(tǒng)特點(diǎn)： |
| ·采用方位換向?qū)ΨQ方式微波耦合，來(lái)提高微波的均勻性 |
| ·穩(wěn)定沉積面積20cm2 |
| ·**功率達(dá)到6KW |
| ·使用純凈的石英窗 |
| ·采用不銹鋼反應(yīng)腔，能耐高溫 |
| 設(shè)備的優(yōu)勢(shì)： |
| ·反應(yīng)可控，能長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定工作在6KW |
| ·所有電子設(shè)備中采用微波，沒(méi)有電極放電，沒(méi)有金屬污染 |
| ·高功率高密度等離子體穩(wěn)定在離石英窗一定位置，減少硅的析出 |
| ·參照C/H/O比例表，對(duì)反應(yīng)物有更大的選擇余地 |
產(chǎn)品咨詢
W-150A/B-6K 微波等離子化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)
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