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碳化硅切片機(jī)
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碳化硅切片機(jī)
673
被加工件**斷面尺寸 | 8寸/10英寸 | 上料方式 | 前端上料 |
被加工件**長(zhǎng)度 | 300mm | 切割液箱**容量 | 150L |
鋼線母線直徑 | ≥Φ0.10mm | 切割液泵**流量 | 180L/min |
鋼線工作運(yùn)行**速度 | 30m/s | 切割液溫度 | 15-30°C,溫度波動(dòng)土0.5°C |
收放線輪**儲(chǔ)線量 | 500~800km | TTV控制 | 均值≤15μm |
夾具擺動(dòng)角度 | 0±12° | WARP控制 | 均值≤30um |
線運(yùn)行方式 | 雙向/單向 | BOW控制 | 均值≤20μm |
線張力 | 0-50N | 主軸箱潤(rùn)滑方式 | 油脂潤(rùn)滑 |
主切割輥數(shù)量 | 3根 | 設(shè)備總功率 | 120 kw |
張力輪數(shù)量 | 2個(gè) | 設(shè)備外形尺寸 | 4300x2200x3400mm |
進(jìn)給滑臺(tái)行程 | 250mm | 設(shè)備自重 | 13.5t |
1、機(jī)床底座、主軸箱支座、垂直進(jìn)給立柱、進(jìn)給滑臺(tái)均為一體鑄造結(jié)構(gòu),采用高精度機(jī)床加工,設(shè)備結(jié)構(gòu)穩(wěn)定 ;
2、主軸采用進(jìn)口NSK軸承,軸箱結(jié)構(gòu)自主研發(fā)、裝配,精度高于行業(yè)標(biāo)準(zhǔn) ;
3、采用進(jìn)口德國(guó)西門(mén)子運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)及電機(jī),保證長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定運(yùn)行 ;
4、夾具采用可擺動(dòng)機(jī)構(gòu),保證加工時(shí)工件進(jìn)行擺動(dòng)式切削,切削受力均勻 ;
5、主軸冷卻采用獨(dú)立水箱,實(shí)現(xiàn)大流量控制方式,解決軸箱內(nèi)部結(jié)露問(wèn)題 ;
6、自動(dòng)化配套設(shè)計(jì)可實(shí)現(xiàn)單機(jī)一鍵提料、一鍵自動(dòng)對(duì)刀等功能 ;
7、TTV、WARP、BOW、表面線痕、崩邊、斷線率等指標(biāo)控制優(yōu)良 ;
8、晶托采用**T形槽定位,保證加工晶向的準(zhǔn)確性 ;
9、自主研發(fā)的**軟件控制系統(tǒng),張力控制精準(zhǔn)。
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