91?清视频在线免费?看_99re6这里只有精品视频6_www.成人动漫_青青青青娱乐_小婕子伦流澡到高潮视频_亚洲综合AV永久无码精品一区二区

  產(chǎn)品特征

出色的污染防護

全折射式投影物鏡提供了超長工作距，以及封閉式的物鏡和照明系統(tǒng)，避免光刻膠等有機物揮發(fā)造成光路污染。

工藝適應(yīng)性強

厚膠曝光時可通過調(diào)整NA來獲得更大焦深，支持高深寬比圖形曝光。擁有獨特的晶圓傳輸系統(tǒng)、垂向大行程工件臺系統(tǒng)和精密調(diào)焦調(diào)平系統(tǒng)，可支持Fan-Out制程中的大翹曲片、鍵合片和厚片曝光工藝。可選配紅外或可見光背面對準(zhǔn)方式，支持TSV和MEMS等制程所需的背面對準(zhǔn)。支持拓展至600mm×600mm方板曝光制程。

高精度

SSB500系列光刻機提供多種投影物鏡和曝光光源配置，分辨率可達(dá)到0.8~2μm，并具有高線寬均勻性。配置高精度MVS對準(zhǔn)系統(tǒng)和低畸變投影物鏡，支持特征圖形標(biāo)記和光柵標(biāo)記，保證了高精度套刻性能。

高產(chǎn)率

SSB500系列光刻機配置了高照度照明系統(tǒng)、高速傳輸系統(tǒng)、高速高精度運動臺系統(tǒng)和大曝光視場，實現(xiàn)高產(chǎn)率，顯著降低客戶擁有成本。