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臥式LPCVD

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中國電子科技集團公司第四十八研究所

湖南

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面議

品牌：

電子科技

型號：

臥式LPCVD

關注度：

547

產品介紹

應用于寬禁帶半導體器件、電力電子器件、光電子等行業氮化硅、多晶硅或氧化硅薄膜的制備；適用工藝有LPCVD。

  • 溫度控制采用串級控制方式，對基片實際溫度進行實時智能控制；

    裝載采用SiC懸臂槳，避免了與工藝管摩擦產生粉塵。


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