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SAB6110 CST -全自動高產能 超高真空常溫鍵合設備

SAB6110 CST -全自動高產能 超高真空常溫鍵合設備

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青禾晶元半導體科技（集團）有限責任公司

天津

產品規格型號
參考報價：

面議

品牌：

青禾晶元

型號：

SAB6110 CST -全自動高產能 超高真空常溫鍵合設備

關注度：

198

產品介紹

SAB6110 CST是一款專為半導體及異質材料鍵合設計的量產型設備，采用多腔室團簇式設計，集成活化、烘烤、濺射（離子束/磁控）及對準鍵合功能。各腔室獨立配備干泵和分子泵，實現快速抽真空；活化模塊高效清除表面氧化層，烘烤模塊快速除水汽；支持邊緣/Mark精準對準，兼容Cassette自動上下料，滿足高效量產需求。

  • 項目

    指標

  • 晶圓尺寸

    2-12 inch

  • 適配材料

    Si、LT/LN、藍寶石、InP、sicGaAs、GaN 等半導體材料以及金屬、玻璃等

  • 產能

    ≥12 pairs/h

  • 上料模式

    Cassette

  • 加壓系統**壓力

    100kN

  • 濺射靶材

    ≥2個，可旋轉

  • 對準方式及精度

    邊緣對準精度≤±50μm；Mark對準≤±2μm

  • 布局

    多腔室團簇式布局


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SAB6110 CST -全自動高產能 超高真空常溫鍵合設備

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