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型號：IBSV-1030    

特點：

a)基板垂直放置，水平監控；

b)轉靶左右可調，保證靶面中心和離子源**距離；

c)基板：12吋×1 ;

d)靶材：兩靶或三靶可更換；

e)多光路監控。

f)工件夾具：12吋

工藝參數：

1）真空系統

a)極限真空度：4.0×10-5Pa 

b)抽至10Pa所用時間 10 Pa：≦ 10 分鐘

c)漏率：3.0×10-5Pa m3/se

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b)轉靶左右可調，保證靶面中心和離子源**距離；

c)基板：12吋×1 ;

d)靶材：兩靶或三靶可更換；

e)多光路監控。

f)工件夾具：12吋

工藝參數：

1）真空系統

a)極限真空度：4.0×10-5Pa 

b)抽至10Pa所用時間 10 Pa：≦ 10 分鐘

c)漏率：3.0×10-5Pa m3/se