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刻蝕機(jī)

刻蝕機(jī)

直接聯(lián)系

廣東大族半導(dǎo)體裝備科技有限公司

廣東

產(chǎn)品規(guī)格型號(hào)
參考報(bào)價(jià)：

面議

品牌：

大族半導(dǎo)體

型號(hào)：

刻蝕機(jī)

關(guān)注度：

366

產(chǎn)品介紹


主要參數(shù)

片盒數(shù)量

2CS&2LP

配置

4 Etch unit

wafer 類型

圓片

wafer 尺寸（mm）50-300
產(chǎn)能（WPH）90
化學(xué)藥液

H2O2、強(qiáng)酸堿

襯底材料Si、Glass、Sapphire、GaN、GaAs、SiC、LiTaO3、Li3PO4
適用工藝Wet Etch
干燥模式Spin Dry+N2 Dry


產(chǎn)品咨詢

刻蝕機(jī)

刻蝕機(jī)

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刻蝕機(jī) - 366
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